產(chǎn)品介紹

BM-54XBD工業(yè)檢測顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠(yuǎn)長工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好。

是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開發(fā)的，作為高級工業(yè)顯微鏡使用。

可進(jìn)行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)

2、拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量

3、采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度

4、WF10X(Φ25mm)超大視野目鏡，長工作距離明暗場金相物鏡

5、可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器

技術(shù)規(guī)格

1、目鏡

2、物鏡

3、顯微鏡的總放大倍率

4、觀察頭：30°鉸鏈?zhǔn)饺?/p>

5、轉(zhuǎn)換器：帶DIC 插孔明暗場五孔轉(zhuǎn)換器

6、瞳距：50-75 mm

7、雙層移動(dòng)平臺：平臺尺寸：350×310 mm；移動(dòng)范圍：250×250 mm

8、濾色片：插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）

9、調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用鹵輪鹵條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；微動(dòng)格值0.002mm

10、偏光裝置：檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

11、檢測工具：0.01 mm測微尺

12、光源： 落射照明：帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素?zé)?2V100W，AC85V-230V，亮度可調(diào)