上光六廠三目金相顯微鏡102XB
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上光六廠三目金相顯微鏡102XB
產品說明
102XB工業(yè)金相顯微鏡是針對半導體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的。作為高級金相顯微鏡用戶在使用時能夠體驗其超強性能,可廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測,可觀察較厚的標本
技術參數(shù)
光學系統(tǒng) | 無限遠光學校正系統(tǒng) | ||||||
觀察方法 | 目鏡筒 | 三目鏡筒/標準C口 | |||||
光學方式 | 透射、反射、偏光、暗場 | ||||||
目鏡參數(shù) | 倍率 | 10X(標) | 16X(選) | ||||
視場范圍(mm) | 25 | 11 | |||||
長距明暗場物鏡 | 倍率 | 5X | 10X | 20X | 40X | 50X | 100X(選) |
數(shù)值孔徑NA | 0.10 | 0.25 | 0.40 | 0.60 | 0.55 | 0.8 | |
工作距離(mm) | 29.4 | 16 | 10.6 | 5.4 | 5.1 | 3 | |
物鏡轉換 | 五孔轉換器 | ||||||
載物工作臺 | 1.雙層移動平臺 2.臺平臺尺寸:192×141mm 3.移動范圍:50×40mm | ||||||
調焦機構 | 調焦粗、微動同軸調焦; 采用齒輪齒條傳動機構,微動格值0.002 mm | ||||||
照明裝置 | 帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V/50W, AC85V-230V,亮度可調節(jié) | ||||||
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉動,起偏鏡、 檢偏鏡均可移出光路 |